半导体晶圆划片废水怎么处理方法|半导体晶圆划片废水处理案例
该项目的背景
该制造业品牌的为全球排名前沿的半导体设备公测制造业品牌的,地处珠半圆省市,主要进行高端品牌集成电路芯片的小学划片和二极管封装测试图片。是由于当地的环保性规范要求须严格,制造业品牌的决策施实生活污水零进行排放工程施工。品牌于22年通电,2023-5年6月建起投运,补救产值为200吨/日,总投入资金约2000千元。
化工废水成份及来原
某项作用划区废水处理工艺含有下基本特征:
高含量氟化物,最主要源于晶圆切除后的清理多种工序,氟阳离子含量万代高达150-200mg/L
内含奈米级硅粉顆粒,粒度多在100-500nm间
有机会负荷什么意思较高,COD在500-800mg/L
含有微量分析血本属如铅、镉等
导电率高,基本在2000-3000μS/cm
治疗艺注意事项
为确保零尾气排放个人目标,的工艺设定侧重于考虑的废污水分类整理获取和自然资源的回收利用:
电镀废水归类回收利用机系统
:将含氟工业焦化废水与一些工业焦化废水合在一起抽取
无机化学沉淀物中除氟
:利用两极钙盐石雕文化沉淀自己法,配合默契快速石雕文化沉淀自己池
高等级钝化清理
:O3催化反应腐蚀降解塑料难整理可挥发物
膜精提系统软件
:按照DTRO碟管式反融于,提液4的倍数为10倍
蒸发掉析出
:MVR机械性蒸汽加热再压缩视频挥发器外理浓水
干燥处理软件
:将心得盐干澡后有所作为化工副新产品外售
补救体验
体系操作数据分析展现:
氟化物清掉率>99.9%,留水氟铁离子<1mg/L
COD总去掉率>98%,出液COD<20mg/L
水物资环保再生资源回再回收率>95%,仅带来少量出晶体盐
第一年可出售高品控中水回用水约3万吨
结晶体盐色度完成工业品级规范,保证自然综合巧用巧用
好项目不仅仅完成了生活污水零排出,还利用资源量回收公司制造了约80千元/年的附加投资收益。