该厂为8英尺晶圆生产制造线配套方案的超去离子水软件系统，时刻存在含硅废气150吨。废气中虽无巨资属，但硅浓度高易水垢，且电容率需完成18MΩ·cm能够工业园废水整理。原来整工院艺难以满足需要新实施的《手机工业园水环境破坏物释放规范标准》（GB39731-2020）特点释放最大限度。 污废水 物质作用 包括被污染的物 ：电解质溶液硅（200-300mg/L）、颗粒肥料硅（孔径0.1-1μm） 特种规定要求 ：TOC<10μg/L，硼含铁<5μg/L 水的硬度性能 ：低纯水电导率（<50μS/cm）但硅单质特性繁杂 工作工艺设计工作流程 转型升级通过"梯级膜脱离+电去化合物"组成方法： 微滤预正确处理 ：1μm陶瓷制品膜拦阻大粉末硅，通量稳定80LMH 铝离子交流环氧树脂 ：D201大孔聚酯树脂选泽性吸附剂硅酸原子 二级考试RO设备 ：第1段回报率60%，第二种段应用高脱硼膜器件 EDI电去阴离子 ：电流大小密度单位2A/m²，延续的还原的残留物阳离子 紫外线臭氧消毒 ：254nm分光光度计线极量40mJ/cm² 枝术不足之处 开放专用工具阻硅剂（巧妙胺类复合材料物），减缓膜生态破坏时间段3倍 EDI输出模块信息化流道规划，硅我们要除率不断提升至99.8% 手机在线硅分折仪（侧量依据0.1-500μg/L）操控精准度操控 运动阶段性成果 经3.方在线检测： 总硅从280mg/L下降0.05mg/L 硼量从8μg/L低于0.3μg/L 整体回报率从原40%加强至68% 膜变更的周期缩短至5年，年操作总成本变低35%