天津某光电器件正确加工处理器制造技术厂,晶圆正确加工处理时中会产生含硅、氟的特出生产废水正确加工处理,设计方案正确加工处理产值1200吨/日。生产废水正确加工处理部分有难度,包含的纳米技术级硅粒状及盐酸,传统式正确加工处理形式不可未达标。
工业废水有效成分及起源
其主要被固体废弃物
:溶液硅(100-500nm粒度)、氟正离子(200-300mg/L)、异丙醇
源于制作工艺
:晶圆刻蚀工业废水处理方法(45%)、CMP生物机械化打磨抛光工业废水处理方法(40%)、的设备清洗阴道水(15%)
解决生产技术步骤
多元化应用"生物奠定+特别膜剥离"枝术途径:
钙盐乳浊液
:加药系统氯化钙删去氟正离子(产生CaF2凝固)
水解酸化池不良反应
:分手后复合二沉池剂达到电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm内径膜挪用微细粒状
反侵入系统
:脱盐率>98%,收售率75%
蒸馏晶体
:浓水段达到氟化物零的排放
既定感觉
氟化物质量浓度:<8mg/L(降至一个国家考试内容一级规范10mg/L)
硅水平:<5mg/L
中国水资源性循环率:70%用到待冷却水塔皮肤补水
危险废弃物极大减少:化掉渣滓量较中国传统工艺设计极大减少60%