半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
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该半导体芯片行业建在长三边形省份,首要生產加工855英寸和1255英寸晶圆,日污染物废储水量约2000吨。因生產鑫霖环保流程缜密,废硫酸铜溶液含有多种类难溶解有机酸物和血本属铝离子,以往治疗形式难无法进一步要严的污染物标准规范。
工业废水组分及特征
电镀污水基本原于于七个方面:晶圆裁割电镀污水有效许多硅粉和裁割液残余的;生物学机诫抛光处理电镀污水饱含胶体溶液硅和研磨设备颗料;刻蚀除污电镀污水有效氟化物、铜正离子等血本属;光刻新工艺电镀污水则有效光阻剂等生物碳生态破坏物。水体质量显著特点是COD高(800-1500mg/L)、氟化物酸度高(200-400mg/L)、自动隐藏物多且有效微量分析血本属。
净化处理艺方案
用于"物理化学预解决+生化模式解决+深层次解决"的組合工序:
调低池营养均衡水环境供水量
混疑沉淀自己弄掉浮动物和悬浊液化学物质
化工发展出的法帮着加工处理氟化物,污泥脱水钙盐成型氟化钙发展出的
淀粉水解硝化作用池加强生活污水可生物化性
了解空气氧化池可降解无机的工业废气
可溶性炭吸塔来强度清理
膜区分机系统事关出水出水水体稳定性高
针对于含铜废液专门处理设施阴离子调换系统性,回报有实际价值的金属材料铜。
决定性成果
内容起建后工作动态平衡,水流COD<50mg/L,氟化物含量<5mg/L,铜化合物含量<0.3mg/L,几项指标值均不同于国家的《电子技术实业水弄脏物排污物要求》(GB 39731-2020)。第年可抑制COD排污物约300吨,氟化物排污物约50吨,再利用铜塑料约2吨,实现了了生态环境收益与成本收益的共利。