半导体芯片加工废水处理案例|半导体芯片加工废水处理方法
楼盘原型
该客户园集聚了十余家半导体器件有关系客户,设计日外理实力5000吨,必须外理来于不同的客户的混后废渣。在各客户生育生产技术距离大,废渣组分多样化变幻莫测,外理難度较高。
废液材料及特征
废液重要还比如几大类:含量较高值生物碳废液(光刻胶、显影液液等)、含氟废液(刻蚀繁琐流程)和酸碱平衡废液(进行维护清洁繁琐流程)。特有基本成分还比如异丙醇、四甲基氢氧化的铵等难化学降解生物碳物,和氟化物、氟化物等硅酸废弃物物。废液COD下跌大(500-3000mg/L),氟化物含量值100-500mg/L,氟化物50-150mg/L。
补救技术程序
选用"类别汇集+分质进行处置+网络化深入进行处置"的技术创新模式英文:
工业企业内部的分类管理预补救:含氟工业废水重新回收利用并预补救
工业区FDA监督管理局种类运输软件系统
综合管理调整池义均水质标准
二级水泥混凝土滤渣清除浮动物和溶液
科学规范生物体反响器(HBR)整理有机质危害物
什么是臭氧催化反应腐蚀挥发难分解成充分物
反覆盖系统软件开始脱盐治疗
紫外线清洁提高认识出液安全性
比较安装了在线平台监测方案操作系统的和重新加量操作系统的,怎样水源下跌。
最中实际效果
软件执行一年来,处置感觉稳定靠普靠普。冒水COD<30mg/L,氟化物<3mg/L,氟化物<5mg/L,总氮<15mg/L,达成地下水监测Ⅳ类细则,一部分回收利用于科技项目造林及混凝土冷却塔塔补充水分,回收利用率高达30%。每月以减少鲜活水选用约20万吨,为科技项目机构可以有水费数百人多万元。